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モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。
対象ワーク 材質 シリコン，GaAs， サイズ 最小φ１２．５mm 最大φ１００mm 固定方法 抑え部品により機械的に固定可能とすること レプリカモールド 材質 PDMS熱可塑性樹脂 サイズ φ１２．５mm 固定方法 押さえ部品により，機械的に固定可能とすること 転写機構部 駆動源 パルスモータ 荷重センサ 圧電素子 (分解能1 N) 荷重 最大 １kN まで設定可能とすること 荷重設定 パラメータ入力 （最大１KN） 加圧分解能 0.1 μm
This is a lineup of devices incorporating Rise One's precision transfer technology.
Our company manufactures products to meet our customers' needs for automation, labor saving, and upgrading existing equipment. ◆ Roll pressure type imprinting device: A device for UV imprinting from large area molds to glass substrates (transfer method - pressure method using a transfer roller, transfer speed - 0.1mm/second to 50.0mm/second) ◆ Imprinting device: A device for transferring from a mold to a wafer (supervised by Tsukuba Research Institute and Minimal Fab Technology Research Association) ◆ Minimal imprinting device: A device for transferring from a mold to a workpiece (supervised by Tsukuba Research Institute and Minimal Fab Technology Research Association) ◆ Imprint stepper: A device that performs high-precision positioning at the nanometer level and conducts UV imprinting from a mold to a wafer in multiple stages (supervised by Tsukuba Research Institute and Minimal Fab Technology Research Association)
